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十大网赌网址理学院博士生一篇论文在Scientific

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  经典干涉中干涉条纹的间距存在一个与波长接近的极限,称之为瑞利极限,它已成为进一步提高超大规模集成电路集成度的制约因素。利用量子干涉的方法可以实现超越瑞利极限的亚波长干涉,这在量子精密测量和量子刻蚀技术中有着重要的意义。在这项研究工作中,十大网赌网址!研究者们从理论和实验上阐明了量子关联测量产生亚波长干涉条纹的机制。通过仔细研究二维关联探测的结果,发现选择不同的探测手段可以得到不同空间分辨率的干涉条纹,其分辨率可以超过亚波长衍射极限,也可以低于衍射极限。此项研究证明,这种因扫描方式引起的分辨率的改变在真正的量子刻蚀中并不可用,只有采用纠缠光源和适当的探测方式才能实现亚波长刻蚀。